準分子雷射維修服務
銓宸科技有限公司專注於準分子雷射系統的維修、整新、移機及客製化技術服務。我們在台灣設立無塵室研發實驗室與維修廠，並備有安全庫存，確保193nm、248nm、308nm等常用DUV準分子雷射系統的穩定供應與維護。為滿足市場需求，我們的研發團隊積極開發客戶所需的零組件，憑藉多年經驗整合金屬與陶瓷材料加工、複合材料應用及雷射光學級鏡片技術，並導入最新技術至準分子雷射系統，提升維修與維護效能。我們成功在台灣在地化開發高技術含量的雷射產品與服務，並將成熟產品推向國際市場，涵蓋日本、韓國、中國、東南亞等地，與代理商於當地服務據點，提供即時、專業的技術支援。
準分子雷射維修
準分子雷射全系統維修
準分子雷射腔體整新
準分子雷射波長: 308nm / 248nm / 193nm
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Lambda Steel Series: LS670 / LS1000
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Lambda Series: 1000 / 2000 / 3000
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Lambda SX Series: LSX200 / LSX315
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LPX Series: LPX100 / LPX200 / LPX300
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LPX Pro Series: LPX 200 Pro / LPX 300 Pro
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COMPex Series: 100 / 200
JPSA 雷射系統維修
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JPSA 雷射系統維修
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Excimer Laser 3D Micromachining system
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Julex Excimer Laser System
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Laser Lift Off system
準分子雷射零件模組維修
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準分子雷射模組維修
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Beam Shutter
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HHT : KEBA KeTop 50C
Film Laser Lift Off
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雷射剝離系統維修
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DPSS Laser lift off system
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Excimer Laser lift off system
準分子雷射零件模組維修
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高壓電源維修 / 氣體純化系統維修
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CRYO GP Gas Purify module Repair / Refurbish
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HVPS High Voltage Power Supply Repair
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HVPS Model: TDK Lambda 802 series / LC1202
準分子雷射零件模組維修
Thyratron Power Supply module / Trigger board Repair
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閘流管電源模組維修
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Trigger Board Repair